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潔凈室靜電測(cè)試
潔凈室內(nèi)往往存在著不容忽視的靜電危害，是導(dǎo)致電子器件、電子儀器和設(shè)備損壞或性能下降的重要因素之一，對(duì)芯片制造影響尤為重要。此外，靜電還是潔凈室在生產(chǎn)過(guò)程中有易燃易爆氣體或粉塵產(chǎn)生時(shí)，導(dǎo)致爆炸、火災(zāi)的元兇以及存在電擊傷人的隱患。潔凈室靜電對(duì)塵埃的吸附效應(yīng)，也易造成生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品各個(gè)壁面的塵埃聚集，以致影響潔凈室的環(huán)境和產(chǎn)品被污染。1、相關(guān)的規(guī)范規(guī)定潔凈室相關(guān)規(guī)范對(duì)靜電防護(hù)問(wèn)題，從設(shè)計(jì)到運(yùn)行都有具體的規(guī)定。例如，潔凈室設(shè)施應(yīng)選用既不會(huì)產(chǎn)生也不能蓄積大量靜電的建筑材料。為保護(hù)對(duì)靜電...
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2020-08-27
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潔凈室的噪聲、微振與照度的測(cè)試
由于潔凈室對(duì)排除室內(nèi)污染物的要求高，因此比一般空調(diào)房間的通風(fēng)換氣量要大很多。1～5級(jí)高級(jí)別潔凈室的通風(fēng)換氣次數(shù)甚至高達(dá)幾百次之多，是普通舒適性空調(diào)房間換氣次數(shù)的幾十倍。正因?yàn)樾枰薮蟮耐L(fēng)換氣量，從節(jié)省驅(qū)動(dòng)能耗及減少輸送氣流的沿程熱損耗的角度出發(fā)，就要盡可能拉近機(jī)房與潔凈室的距離。這也正是廣泛采用裝置在潔凈室內(nèi)的風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組的原因之一。由于機(jī)械設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)造成的機(jī)械振動(dòng)與噪聲、空調(diào)凈化系統(tǒng)較高的靜壓值及系統(tǒng)中氣流引起的噪聲與微振等，都比一般空調(diào)系統(tǒng)更為突出，因此潔凈室的噪聲與微...
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2020-08-26
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潔凈室粒子沉積測(cè)試
粒子沉積測(cè)試在國(guó)外某些高級(jí)別潔凈室頗受重視。因?yàn)橥ㄟ^(guò)此項(xiàng)測(cè)試，可以讓用戶了解可能沉積到潔凈室工作表面或產(chǎn)品上的空氣中懸浮粒子的數(shù)量與粒子粒徑，這對(duì)于分析產(chǎn)品的成品率有較高的參考價(jià)值。其檢測(cè)的方式是用表面特性與生產(chǎn)中所關(guān)注的表面相類似的測(cè)量采樣板，在潔凈室內(nèi)收集沉積粒子。再用光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡或表面掃描儀確定沉積粒子的粒徑與數(shù)量；也可以用粒子沉降光度計(jì)獲得粒子沉積率的數(shù)據(jù)。后以每單位表面面積在單位時(shí)間內(nèi)的粒子質(zhì)量或數(shù)目來(lái)表示沉積粒子的數(shù)據(jù)。1、測(cè)量采樣板上沉積粒子的獲取方法...
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2020-08-26
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潔凈室污染滲漏測(cè)試
ISO14644明確規(guī)定此項(xiàng)測(cè)試，并指出特別是對(duì)于1～5級(jí)高級(jí)別潔凈室應(yīng)有效的進(jìn)行此項(xiàng)測(cè)試。此項(xiàng)測(cè)試的目的是用以測(cè)定有無(wú)受污染的空氣從周圍具有相同或不同靜壓的非受控區(qū)侵入到潔凈區(qū)，以評(píng)估潔凈室受周邊污染的風(fēng)險(xiǎn)，為采取相應(yīng)措施提供依據(jù)。此項(xiàng)測(cè)試可采用離散粒子計(jì)數(shù)器或氣溶膠光度計(jì)。1、使用離散粒子計(jì)數(shù)器測(cè)試污染滲漏（1）測(cè)量緊靠被評(píng)估潔凈室外部的粒子濃度，該濃度應(yīng)該比潔凈室高出104倍，并且其濃度至少等于3.5*106個(gè)待測(cè)粒徑的粒子。如果濃度小于該值，為確保測(cè)試的可靠性應(yīng)使用氣...
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2020-08-24
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潔凈室自凈性能測(cè)試
自凈性能測(cè)試的目的是用以確定潔凈室或潔凈設(shè)施清除懸浮微粒的能力與速率，這是非單向流潔凈室或潔凈設(shè)施重要的性能反映。其自凈性能是受控區(qū)內(nèi)的空氣循環(huán)率，即常說(shuō)的換氣次數(shù)、進(jìn)風(fēng)口及出風(fēng)口的氣流流型、空氣分布特性以及熱環(huán)境的函數(shù)。在相同的空氣循環(huán)率和其它室內(nèi)條件下，如果自凈時(shí)間較短，說(shuō)明潔凈室送、回風(fēng)口布置得當(dāng)，氣流組織效果好；反之，說(shuō)明氣流組織不理想。1、自凈性能或自凈時(shí)間的定義ISO14644標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，以潔凈室或潔凈設(shè)施內(nèi)粒子濃度的變化率來(lái)評(píng)估自凈性能，或者用自凈時(shí)間，即潔凈室從...
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2020-08-24
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潔凈室溫度與濕度的測(cè)試
本項(xiàng)測(cè)試內(nèi)容的目的是驗(yàn)證潔凈室或潔凈設(shè)施的空調(diào)系統(tǒng)在被測(cè)區(qū)域內(nèi)維持的空氣溫度、濕度指標(biāo)是否在用戶與供應(yīng)商、承包商事前商定的控制限度范圍內(nèi)。潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定通常分為兩個(gè)檔次：一般測(cè)試和綜合測(cè)試。一般測(cè)試適用于處于空態(tài)的竣工驗(yàn)收測(cè)試，綜合測(cè)試適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。1、一般溫、濕度測(cè)試此項(xiàng)測(cè)試應(yīng)該在氣流均勻性測(cè)試完成，空調(diào)系統(tǒng)的控制裝置調(diào)節(jié)后進(jìn)行。測(cè)試工作應(yīng)該在空調(diào)系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行的狀況下進(jìn)行。根據(jù)ISO14644...
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2020-08-24
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